ＲＴＡ

rapid thermal annealing

(半導体結晶の一部の)急速熱アニーリング. 急速除熱処理. 急速冷却処理. 局所的に結晶構造組成の不整を作る方法.
ｒａｐｉｄ ｔｈｅｒｍａｌ ａｎｎｅａｌｉｎｇ; ｏｆ ａ ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ ｃｒｙｓｔａｌ ｗｉｔｈ ａ ｍａｓｋ ｔｏ ａｃｃｏｍｐｌｉｓｈ ｌｏｃａｌｉｚｅｄ ｃｏｍｐｏｓｉｔｉｏｎａｌ ｄｉｓｏｒｄｅｒｉｎｇ; ａｎ ＲＴＰ(ｒａｐｉｄ ｔｈｅｒｍａｌ ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ); ｅ.ｇ. ｕｓｅｄ ｆｏｒ ＩＩＬＤ(ｉｍｐｕｒｉｔｙ-ｉｎｄｕｃｅｄ ｌａｙｅｒ ｄｉｓ

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11858231