ＲＴ-ＡＰＣＶＤ

rapid thermal atmospheric-pressure chemical vapor deposition

急熱大気圧化学蒸着法.
ｒａｐｉｄ ｔｈｅｒｍａｌ ａｔｍｏｓｐｈｅｒｉｃ-ｐｒｅｓｓｕｒｅ ｃｈｅｍｉｃａｌ ｖａｐｏｒ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ; ａｎ ＲＴＰ(ｒａｐｉｄ ｔｈｅｒｍａｌ ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ), ａｎ ＲＴＣＶＤ(ｒａｐｉｄ ｔｈｅｒｍａｌ ｃｈｅｍｉｃａｌ ｖａｐｏｒ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ); ｒｅｆ. ＲＴ-ＬＰＣＶＤ(ｒａｐｉｄ ｔｈｅｒｍａｌ ｌｏｗ-ｐｒｅｓｓｕｒｅ ｃｈｅｍｉｃａｌ ｖａｐｏｒ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ), ＲＴ-ＰＥＣＶＤ(ｒａｐｉｄ ｔｈｅｒｍａｌ ｐ

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11858236