ＲＴＣＶＤ

rapid thermal chemical vapor deposition

急熱化学蒸着法.
ｒａｐｉｄ ｔｈｅｒｍａｌ ｃｈｅｍｉｃａｌ ｖａｐｏｒ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ; ｄｅｐｏｓｉｔｓ ｆｉｌｍｓ ｏｆ ｖａｒｉｏｕｓ ｍａｔｅｒｉａｌｓ; ａｎ ＲＴＰ(ｒａｐｉｄ ｔｈｅｒｍａｌ ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ); ｒｅｆ. ＲＴ-ＡＰＣＶＤ(ｒａｐｉｄ ｔｈｅｒｍａｌ ａｔｍｏｓｐｈｅｒｉｃ ｐｒｅｓｓｕｒｅ ｃｈｅｍｉｃａｌ ｖａｐｏｒ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ), ＲＴ-ＬＰＣＶＤ(ｒａｐｉｄ ｔｈｅｒｍａｌ ｌｏｗ-ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ ｃｈｅｍｉｃａｌ ｖａｐｏｒ

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11858241