ＲＴ-ＬＰＣＶＤ

rapid thermal low-pressure chemical vapor deposition

急熱低圧化学蒸着法.
ｒａｐｉｄ ｔｈｅｒｍａｌ ｌｏｗ-ｐｒｅｓｓｕｒｅ ｃｈｅｍｉｃａｌ ｖａｐｏｒ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ; ａｎ ＲＴＰ(ｒａｐｉｄ ｔｈｅｒｍａｌ ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ), ａｎ ＲＴＣＶＤ(ｒａｐｉｄ ｔｈｅｒｍａｌ ｃｈｅｍｉｃａｌ ｖａｐｏｒ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ); ｒｅｆ. ＲＴ-ＡＰＣＶＤ(ｒａｐｉｄ ｔｈｅｒｍａｌ ａｔｍｏｓｐｈｅｒｉｃ-ｐｒｅｓｓｕｒｅ ｃｈｅｍｉｃａｌ ｖａｐｏｒ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ), ＲＴ-ＰＥＣＶＤ(ｒａｐｉｄ ｔｈｅｒｍａｌ ｐｌ

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11858260