ＳＩ

surface imaging (resist)

表面結像(レジスト). フォトレジストの型.
ｓｕｒｆａｃｅ ｉｍａｇｉｎｇ (ｒｅｓｉｓｔ); ａ ｔｙｐｅ ｏｆ ｐｈｏｔｏ-ｒｅｓｉｓｔ; ｒｅｆ. ＳＬＲ(ｓｉｎｇｌｅ ｌａｙｅｒ ｒｅｓｉｓｔ), ＭＬＲ(ｍｕｌｔｉｌａｙｅｒ ｒｅｓｉｓｔ); ｉｎ ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ ｄｅｖｉｃｅ ｉｎｄｕｓｔｒｙ;
[Ｃｈｅｍ:Ｏｐｔ:Ｉｎｄ].

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11859484