ＳＲＡ

spreading resistance analysis

広がり抵抗解析. 半導体の不純物の深さ方向分布の測定方法.
ｓｐｒｅａｄｉｎｇ ｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ ａｎａｌｙｓｉｓ; ａ ｔｅｃｈｎｉｑｕｅ ｆｏｒ ｄｅｐｔｈ ｐｒｏｆｉｌｉｎｇ ｏｆ ｄｏｐａｎｔｓ ｉｎ ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒｓ; ｒｅｆ. ＳＩＭＳ(ｓｅｃｏｎｄａｒｙ ｉｏｎ ｍａｓｓ ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ); ｒｅｆ. ＤＨＥ(ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉａｌ Ｈａｌｌ ｅｆｆｅｃｔ) ｐｒｏｆｉｌｉｎｇ;
[Ｃ:Ｅ:Ｉｎｄ:Ｐｊｙｓ:Ｍａｔ].

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11860259