ＯＡＩ

off-axis illumination

光軸外照明. 高密度半導体集積回路製造などで光学装置の焦点深度を改善する技術.
ｏｆｆ-ａｘｉｓ ｉｌｌｕｍｉｎａｔｉｏｎ; ｉｍｐｒｏｖｅｓ ＤＯＦ(ｄｅｐｔｈ ｏｆ ｆｏｃｕｓ);
[Ｏｐｔ:Ｃ:Ｉｎｄ].

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11863556