ＡＡＰＳＭ

alternating aperture PSM(phase-shifting mask)

交互開口位相シフト マスク. 半導体集積回路製造で使う露光装置のマスク.
ａｌｔｅｒｎａｔｉｎｇ ａｐｅｒｔｕｒｅ ＰＳＭ(ｐｈａｓｅ-ｓｈｉｆｔｉｎｇ ｍａｓｋ); ａ ｔｙｐｅ ｏｆ ＰＳＭ; ｂｒｉｇｈｔｅｒ ｂｕｔ ｎｏ ｎａｒｒｏｗｅｒ ｔｈａｎ ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ ｍａｓｋ; ｕｓｅｄ ｉｎ ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ ＩＣ(ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ ｃｉｒｃｕｉｔ) ｉｎｄｕｓｔｒｙ;
[Ｏｐｔ:Ｉｎｄ].

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11864226