ＡＲＣＯＲ

antireflection coating on resist; a TARC(top antireflection coating)

レジスト上の反射防止膜. レジスト上部の反射防止膜.
ａｎｔｉｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎ ｃｏａｔｉｎｇ ｏｎ ｒｅｓｉｓｔ; ａ ＴＡＲＣ(ｔｏｐ ａｎｔｉｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎ ｃｏａｔｉｎｇ); ｏｒ ＴＡＲ(ｔｏｐ ａｎｔｉｒｅｆｌｅｃｔｏｒ); ｒｅｆ. ＢＡＲＣ(ｂｏｔｔｏｍ ａｎｔｉｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎ ｃｏａｔｉｎｇ); ｉｎ ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ ｄｅｖｉｃｅ ｉｎｄｕｓｔｒｙ;
[Ｃｈｅｍ:Ｏｐｔ:Ｉｎｄ:Ｃ:Ｅ].

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11866169