ＣＤ

critical dimension

走査型電子顕微鏡で観測する程度の寸法.
ｃｒｉｔｉｃａｌ ｄｉｍｅｎｓｉｏｎ; = ｋλ/ＮＡ ; ｅ.ｇ. ａ ＣＤｏｆ 0.8 ?ｍ ｉｓ ｃｏｍｍｏｎ ｆｏｒ ｈｉｇｈ-ｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ ｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ ｄｅｖｉｃｅｓ; ａ ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ ａｃｃｕｒａｃｙ; ｅ.ｇ. ＣＤ ＳＥＭ(ｓｃａｎｎｉｎｇ ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ), ａ ｓｕｂｍｉｃｒｏｎ ｍｅｔｒｏｌｏｇｙ ｔｏｏｌ;
[Ｅ:Ｉｎｄ:Ｏｐｔ].クリティカル ディメンション.

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11868784