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CG


conformal growth

適合成長(法). マスク内にパターン内部から外部へのラテラル成長を行うエピタキシャル結晶成長法.
conformal growth; a crystal growth technique; in MOVPE(metal organic vapor phase epitaxy);
[C:E:Opt:Phys].




丸善
「略語大辞典」
JLogosID : 11869146