ＤＦ

double floating (wafer cleaning unit)

二重浮遊(半導体ウェハー洗浄装置).
ｄｏｕｂｌｅ ｆｌｏａｔｉｎｇ (ｗａｆｅｒ ｃｌｅａｎｉｎｇ ｕｎｉｔ); ａ ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ ｗａｆｅｒ ｃｌｅａｎｉｎｇ ｕｎｉｔ;
[Ｉｎｄ:Ｃ:Ｅ].

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11871607