ＤＨＥ

differential Hall effect (profiling)

微分ホール効果(不純物分布測定). 半導体中の不純物深部分布測定法の一つ.
ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉａｌ Ｈａｌｌ ｅｆｆｅｃｔ (ｐｒｏｆｉｌｉｎｇ); ａ ｔｅｃｈｎｉｑｕｅ ｆｏｒ ｄｅｐｔｈ ｐｒｏｆｉｌｉｎｇ ｏｆ ｄｏｐａｎｔｓ ｉｎ ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒｓ; ｒｅｆ. ＳＩＭＳ(ｓｅｃｏｎｄａｒｙ ｉｏｎ ｍａｓｓ ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ); ｒｅｆ. ＳＲＡ(ｓｐｒｅａｄｉｎｇ ｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ ａｎａｌｙｓｉｓ) ｐｒｏｆｉｌｉｎｇ;
[Ｃ:Ｅ:Ｐｈｙｓ:Ｉｎｄ:

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11871735