ＤＳＡ

diffracted scatter analysis

回折散乱分析. 散乱計測, シミュレーション, 統計計算を組み合わせて光学散乱パターンの測定値から臨界精度を予測する手法.
ｄｉｆｆｒａｃｔｅｄ ｓｃａｔｔｅｒ ａｎａｌｙｓｉｓ; ｃｏｍｂｉｎｅｓ ｓｃａｔｔｅｒｏｍｅｔｒｙ, ｔｈｅｏｒｅｔｉｃａｌ ｓｉｍｕｌａｔｉｏｎ, ａｎｄ ｓｔａｔｉｓｔｉｃａｌ ａｎａｌｙｓｉｓ ｔｏ ｐｒｅｄｉｃｔ ｃｒｉｔｉｃａｌ ｄｉｍｅｎｓｉｏｎｓ ｆｒｏｍ ａ ｍｅａｓｕｒｅｄ ｏｐｔｉｃａｌ ｓｃａｔｔｅｒ ｐａｔｔｅｒｎ;
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丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11872493