ＥＢＩＣ

(modulated) electrom-beam-induced current

電子顕微鏡の観測モードの一つ.
(ｍｏｄｕｌａｔｅｄ) ｅｌｅｃｔｒｏｍ-ｂｅａｍ-ｉｎｄｕｃｅｄ ｃｕｒｒｅｎｔ; ｉｎ ａ ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ; ａｎ ａｎａｌｙｔｉｃａｌ ｍｏｄｅ ｏｆ ａ ＳＥＭ(ｓｃａｎｎｉｎｇ ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ); ｒｅｆ. ＣＬ(ｃａｔｈｏｄｏ-ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ);
[Ｅ:Ｐｈｙｓ:Ｍａｔ].(半導体での)電子ビーム誘起電流. 走査型

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11872971