ＥＣＲ

electron cyclotron resonance (plasma or

電子サイクロトロン共鳴(プラズマまたは酸化物蒸着法). 半導体集積回路の製造方法. サイクロトロン共鳴で磁場中の電子にエネルギー吸収をさせるプラズマ加熱法.
ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｃｙｃｌｏｔｒｏｎ ｒｅｓｏｎａｎｃｅ (ｐｌａｓｍａ ｏｒ ｏｘｉｄｅ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ); ａｎ ＩＣ(ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ ｃｉｒｃｕｉｔ) ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ; ｒｅｆ. ＲＩＥ(ｒｅａｃｔｉｖｅ ｉｏｎ ｅｔｃｈｉｎｇ) ｏｒ ＲＩＢＥ(ｒｅａｃｔｉｖｅ ｉｏｎ ｂｅａｍ ｅｔｃｈｉｎｇ);
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丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11873136