ＥＳＣ

electrostatic chuck

静電チャック. 半導体基板(ウェーハー)を処理中に誘電体を介して静電気により保持する装置.
ｅｌｅｃｔｒｏｓｔａｔｉｃ ｃｈｕｃｋ; ａ ｄｅｖｉｃｅ ｔｏ ｈｏｌｄ ａ ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ ｗａｆｅｒ ｗｉｔｈ ａｎ ｅｌｅｃｔｒｏｓｔａｔｉｃ ｆｏｒｃｅ ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｅｄ ａｃｃｏｒｄｉｎｇ ｔｏ ｅｌｅｃｔｒｏｄｅ ｌａｙｏｕｔ; ｐｒｅｖｅｎｔｓ ｂｏｗｉｎｇ ｏｆ ａ ｗａｆｅｒ; ｐｒｏｖｉｄｅｓ ｕｎｉｆｏｒｍ ｈｅａｔ ｔｒａｎｓｆｅｒ ｏｖｅｒ ｔｈｅ ｅｎｔｉｒｅ

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11874037