ＦＤＯＦ

figure of merit for depth of focus

(半導体集積回路製造用の位相シフトマスクの)焦点深度特性指数.
ｆｉｇｕｒｅ ｏｆ ｍｅｒｉｔ ｆｏｒ ｄｅｐｔｈ ｏｆ ｆｏｃｕｓ; ａ ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃ ｉｎｄｅｘ ｏｆ ａ ＰＳＭ(Ｐｈａｓｅ ｓｈｉｆｔｉｎｇ ｍａｓｋ) ｗｈｉｃｈ ｉｓ ｕｓｅｄ ｆｏｒ ｅｘｃｉｍｅｒｓｔｅｐｐｅｒｓ ｆｏｒ ＩＣ(ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ ｃｉｒｃｕｉｔ) ｐｒｏｄｕｃｔｉｏｎ;
[Ｏｐｔ:Ｃ:Ｉｎｄ].

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11874701