ＩＡＤ

ion assisted deposition (process)

イオン アシスト蒸着. 大型光学多層膜製造技術.
ｉｏｎ ａｓｓｉｓｔｅｄ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ (ｐｒｏｃｅｓｓ); ａ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ ｔｅｃｈｎｉｑｕｅ; ｆｏｒ ｌａｒｇｅ ｏｐｔｉｃｓ; ｒｅｆ. ＥＢ(ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｂｅａｍ), ＩＢＳＤ(ｉｏｎ ｂｅａｍ ｓｐｕｔｔｅｒ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ), ＡＲＥ(ａｃｔｉｖａｔｅｄ ｒｅａｃｔｉｖｅ ｅｖａｐｏｒａｔｉｏｎ), ＩＰ(ｉｏｎ ｐｌａｔｉｎｇ), ＲＦＳ(ｒｆ ｄｉｏｄｅ ｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ); ｒｅｆ. ｈｏｔ-ｃａ

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11877627