LICS
lamp interference correction system
ランプ干渉補正システム. 急速熱処理装置に用いる装置.
lamp interference correction system; a device for RTP(rapid thermal processing); ref. RECS(real-time emissivity correction system);
[C:L:Ind:Opt:Phys].
| 丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11880688 |