ＬＰＣＶＤ*

low pressure CVD; [C].

低圧(減圧)化学蒸着法.
ｌｏｗ ｐｒｅｓｓｕｒｅ ＣＶＤ; [Ｃ].

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11881011