ＭＡＣＶＤ

microwave-assisted CVD(chemical vapor deposition)

マイクロ波補助化学蒸着法. 高純度薄膜製造法.
ｍｉｃｒｏｗａｖｅ-ａｓｓｉｓｔｅｄ ＣＶＤ(ｃｈｅｍｉｃａｌ ｖａｐｏｒ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ); ｕｓｅｄ ｆｏｒ ｍａｋｉｎｇ ｄｉａｍｏｎｄ ｆｉｌｍｓ;
[Ｃｈｅｍ:Ｉｎｄ].

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11881453