ＴＡＲＣ

top ARC(antireflection coating)

(フォトレジストの)上部反射防止膜.
ｔｏｐ ＡＲＣ(ａｎｔｉｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎ ｃｏａｔｉｎｇ); ｏｆ ａ ｐｈｏｔｏｒｅｓｉｓｔ; ｒｅｆ. ＢＡＲＣ(ｂｏｔｔｏｍ ＡＲＣ); ｏｒ ＡＲＣＯＲ(ａｎｔｉｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎ ｃｏａｔｉｎｇ ｏｎ ｒｅｓｉｓｔ) ｏｒ ＴＡＲ(ｔｏｐ ａｎｔｉｒｅｆｌｅｃｔｏｒ); ｉｎ ｔｈｅ ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ ｄｅｖｉｃｅ ｉｎｄｕｓｔｒｙ;
[Ｃｈｅｍ:Ｏｐｔ:Ｍａｔ:Ｉｎｄ:Ｃ:Ｅ].

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11851289