ＴＭＡＨ

tetramethyl ammonium hydroxide

水酸化テトラメチル アンモニウム. フォトレジストの現像剤.
ｔｅｔｒａｍｅｔｈｙｌ ａｍｍｏｎｉｕｍ ｈｙｄｒｏｘｉｄｅ; ａ ｃｈｅｍｉｃａｌ ｕｓｅｄ ｆｏｒ ｔｈｅ ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ ｐｒｏｃｅｓｓ ｏｆ ａ ｐｈｏｔｏｒｅｓｉｓｔ;
[Ｃｈｅｍ:Ｉｎｄ].

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11852179