ＺＭＲ

zone-melting regrowth

帯溶融再結晶化. 絶縁体上シリコン構造の製造方法.
ｚｏｎｅ-ｍｅｌｔｉｎｇ ｒｅｇｒｏｗｔｈ; ａ ｔｅｃｈｎｉｑｕｅ ｆｏｒ ＳＯＩ(ｓｉｌｉｃｏｎ-ｏｎ-ｉｎｓｕｌａｔｏｒ) ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ; ｒｅｆ. ＤＷＢ(ｄｉｒｅｃｔ ｗａｆｅｒ ｂｏｎｄｉｎｇ); ｒｅｆ. ＳＩＭＯＸ(ｓｅｐａｒａｔｉｏｎ ｂｙ ｉｍｐｌａｎｔｅｄ ｏｘｙｇｅｎ);
[Ｃ:Ｉｎｄ:Ｐｈｙｓ:Ｏｐｔ].

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11852418