ＰＫＥ

photokinetic etching

光力学的エッチング. 紫外レーザー光を用いた高精度材料加工法.
ｐｈｏｔｏｋｉｎｅｔｉｃ ｅｔｃｈｉｎｇ; ａ ｐｒｏｃｅｓｓ ｉｎ ｗｈｉｃｈ ｅｘｔｒｅｍｅｌｙ ｈｉｇｈ ｒｅｓｏｌｕｔｉｏｎ ｃｕｔｔｉｎｇ ｏｆ ｍａｔｅｒｉａｌｓ ｉｓ ａｃｃｏｍｐｌｉｓｈｅｄ ｗｉｔｈ ａ 275-305 ｎｍ ｌａｓｅｒ ｌｉｇｈｔ; ｒｅｑｕｉｒｅｓ > 1.2 Ｗ ｏｆ ｐｏｗｅｒ, ＴＥＭ00 ｍｏｄｅ, ａｎｄ ｅｘｃｅｌｌｅｎｔ ｂｅａｍａｎｄ ｐｏｗｅｒ ｓｔａｂｉｌｉｔｙ;
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丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11855871