ＲＴＯ

rapid thermal oxidation

急熱酸化反応. 半導体などの酸化膜製造プロセス.
ｒａｐｉｄ ｔｈｅｒｍａｌ ｏｘｉｄａｔｉｏｎ; ｏｆ ａ ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ ｍａｔｅｒｉａｌ; ａｎ ＲＴＰ(ｒａｐｉｄ ｔｈｅｒｍａｌ ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ); ｒｅｆ. ＲＴＮ(ｒａｐｉｄ ｔｈｅｒｍａｌ ｎｉｔｒｉｄａｔｉｏｎ), ＲＴＡ(ｒａｐｉｄ ｔｈｅｒｍａｌ ａｎｎｅａｌｉｎｇ); ｒｅｆ. ＯＮＯ(ｏｘｉｄｅ-ｎｉｔｒｉｄｅ-ｏｘｉｄｅ) ｆｉｌｍ;
[Ｃ:Ｉｎｄ:Ｃｈｅｍ:Ｍａｔ].

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11858265