ＳＦＭ

shop floor management (system)

ＳＦＭシステム. ショップ フロア管理システム. 半導体製造工程管理用専用コンピュータシステム. 「無人・無塵工場」内で生産工程管理, 装置制御, 搬送制御などを集中的に処理する専用コンピュータ システム.
ｓｈｏｐ ｆｌｏｏｒ ｍａｎａｇｅｍｅｎｔ (ｓｙｓｔｅｍ); ａ ｃｏｍｐｕｔｅｒ ｓｙｓｔｅｍ ｆｏｒ ｔｈｅ ｍａｎａｇｅｍｅｎｔ ｏｆ ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ ｐｒｏｄｕｃｔｉｏｎ ｌｉｎｅｓ; ａｎ ＦＡ(ｆａｃｔｏｒｙ ａｕｔｏｍａｔｉｏｎ) ｉｎ ｔｈｅ ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔ

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11859330