ＳＩＬＯ

sealed-interface local oxidation (isolation

封入境界局所酸化(分離処理). 半導体集積回路の分離技術.
ｓｅａｌｅｄ-ｉｎｔｅｒｆａｃｅ ｌｏｃａｌ ｏｘｉｄａｔｉｏｎ (ｉｓｏｌａｔｉｏｎ ｐｒｏｃｅｓｓ); ａｎ ＩＣ(ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ ｃｉｒｃｕｉｔ) ｉｓｏｌａｔｉｏｎ ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ;
[Ｃ:Ｅ:Ｉｎｄ:Ｍａｔ].

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11859573