ＳＬＲ

single layer resist

単層レジスト. フォトレジストの種類.
ｓｉｎｇｌｅ ｌａｙｅｒ ｒｅｓｉｓｔ; ａ ｐｈｏｔｏｒｅｓｉｓｔ ｆｏｒ ｍｉｃｒｏｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ; ｒｅｆ. ＭＬＲ(ｍｕｌｔｉｌａｙｅｒ ｒｅｓｉｓｔ), ＳＩ(ｓｕｒｆａｃｅ ｉｍａｇｉｎｇ) ｒｅｓｉｓｔ; ｆｏｒ ｔｈｅ ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ ｄｅｖｉｃｅ ｉｎｄｕｓｔｒｙ;
[Ｃｈｅｍ:Ｏｐｔ:Ｃ:Ｅ:Ｉｎｄ].

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11859753