ＳＯＰ

selective oxidation process

選択的酸化法. 窒化シリコン膜が酸素を通過させない性質を利用したシリコン表面の選択的酸化法.
ｓｅｌｅｃｔｉｖｅ ｏｘｉｄａｔｉｏｎ ｐｒｏｃｅｓｓ; ｏｆ ｓｉｌｉｃｏｎ ｃｒｙｓｔａｌ;
[Ｃ:Ｅ:Ｃｈｅｍ].

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11860015