ＭＦＣ

mass flow controller

質量流量制御装置. ガス流量制御装置.
ｍａｓｓ ｆｌｏｗ ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ; ａ ｇａｓ ｆｌｏｗ ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ;
[Ｃｈｅｍ:Ｐｈｙｓ:Ｃ:Ｉｎｄ].

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11860824