ＭＬＲ

multi-layer resist

多層レジスト. フォトレジストの種類.
ｍｕｌｔｉ-ｌａｙｅｒ ｒｅｓｉｓｔ; ａ ｔｙｐｅ ｏｆ ｐｈｏｔｏ-ｒｅｓｉｓｔ;ｒｅｆ. ＳＬＲ(ｓｉｎｇｌｅ ｌａｙｅｒ ｒｅｓｉｓｔ), ＳＩ(ｓｕｒｆａｃｅｉｍａｇｉｎｇ) ｒｅｓｉｓｔ; ｉｎ ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ ｄｅｖｉｃｅｉｎｄｕｓｔｒｙ;
[Ｃｈｅｍ:Ｏｐｔ:Ｉｎｄ:Ｃ:Ｅ].

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11861246