ＭＴＳ

methyltrichlorosilane

メチルトリクロロシラン. ケイ素の有機化合物. 気相化学蒸着法でＳｉＣ製造を行うときの原料.
ｍｅｔｈｙｌｔｒｉｃｈｌｏｒｏｓｉｌａｎｅ; ａ ｃｈｅｍｉｃａｌ; ａ ｖａｐｏｒ ｐｒｅｃｕｒｓｏｒ ｃｈｅｍｉｃａｌ ｏｆ ｔｈｅ ｍａｔｒｉｘｍａｔｅｒｉａｌ ｏｆ ＳｉＣ ｃｅｒａｍｉｃ-ｍａｔｒｉｘ ｃｏｍｐｏｓｉｔｅｓ; ｕｓｅｄ ｉｎ ＣＶＩ(ｃｈｅｍｉｃａｌ ｖａｐｏｒｉｎｆｉｌｔｒａｔｉｏｎ) ｐｒｏｃｅｓｓ;
[Ｃｈｅｍ:Ｉｎｄ:Ｍａｔ].

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11862028