ＮＩＡＰ

negative ion assisted preionization

陰イオン補助予備電離. エキシマーレーザーの放電ガス予備電離方式.
ｎｅｇａｔｉｖｅ ｉｏｎ ａｓｓｉｓｔｅｄ ｐｒｅｉｏｎｉｚａｔｉｏｎ; ａ ｐｒｅｉｏｎｉｚａｔｉｏｎ ｔｅｃｈｎｉｑｕｅ ｆｏｒ ｅｘｃｉｍｅｒ ｌａｓｅｒｓ; ｕｓｅｓ ｅｌｅｃｔｒｏｎｓ ｌｉｂｅｒａｔｅｄ ｆｒｏｍ ａｒｅｓｅｒｖｏｉｒ ｏｆ ｎｅｇａｔｉｖｅ ｈａｌｉｄｅ ｉｏｎｓ ｂｙ ｐｈｏｔｏｉｏｎｉｚａｔｉｏｎ ｔｏ ｐｒｏｖｉｄｅ ｔｈｅ ｐｒｅｉｏｎｉｚａｔｉｏｎ ｏｆ ｇａｓｅｓ; ａ ｔｗｏ ｓｔｅｐ ｔ

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11862849