ＡＰＳＭ

attenuated phase shifting mask

減衰位相シフト マスク. 半導体集積回路のパターン露光用のマスクの型式の一つ. ウェーハー上での露光のコントラストが高い方式で高密度回路で不可欠.
ａｔｔｅｎｕａｔｅｄ ｐｈａｓｅ ｓｈｉｆｔｉｎｇ ｍａｓｋ; ａ ｔｙｐｅ ｏｆ ＰＳＭ(ｐｈａｓｅ ｓｈｉｆｔｉｎｇ ｍａｓｋ) ｕｓｅｄ ｉｎ ｅｘｐｏｓｕｒｅ ｏｆ ＩＣ(ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ ｃｉｒｃｕｉｔ) ｐａｔｔｅｒｎｓ; ｒｅｆ. ＢＩＭ(ｂｉｎａｒｙ ｉｎｔｅｎｓｉｔｙ ｍａｓｋ), ｒｉｍ ＰＳＭ(ｐｈａｓｅ ｓｈｉｆｔｉｎｇ ｍａ

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11864650