ＢＡＲＣ

bottom ARC(antireflection coating)

(フォトレジストの)底部反射防止膜. 半導体集積回路の集積密度を高めるための手法.
ｂｏｔｔｏｍ ＡＲＣ(ａｎｔｉｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎ ｃｏａｔｉｎｇ); ａｎ ＡＲＣ ｆｏｒ ａ ｐｈｏｔｏｒｅｓｉｓｔ ｉｎ ｍｉｃｒｏ-ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ; ｒｅｆ. ＴＡＲＣ(ｔｏｐ ａｎｔｉｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎ ｃｏａｔｉｎｇ);
[Ｃｈｅｍ:Ｏｐｔ:Ｉｎｄ:Ｃ:Ｅ].

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11867048