ＢＰＳＧ

boron-doped phospho-silicate glass (film)

ボロンリンガラス. ホウ酸添加燐酸珪酸ガラス. 多成分ガラス. アルカリ成分を含まないガラス. 半導体電子回路の多層高密度配線での層間絶縁膜として使用する.
ｂｏｒｏｎ-ｄｏｐｅｄ ｐｈｏｓｐｈｏ-ｓｉｌｉｃａｔｅ ｇｌａｓｓ (ｆｉｌｍ); ｏｒ ｂｏｒｏ-ｐｈｏｓｐｈｏ ｓｉｌｉｃａｔｅ ｇｌａｓｓ; ａ ｍｕｌｔｉ-ｃｏｍｐｏｎｅｎｔ ｇｌａｓｓ; ｒｅｆ. ＳＯＧ(ｓｐｉｎ-ｏｎｇｌａｓｓ), ＣＭＰ(ｃｈｅｍｉｃａｌ ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ); ｒｅｆ. ＰＳＧ(ｐｈｏｓ

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11867818