ＤＺ

denuded zone

(単結晶の)デヌーデッド ゾーン. ウェーハー表面に析出物やＯＳＦ(酸化誘起積層欠陥)が存在しない領域.
ｄｅｎｕｄｅｄ ｚｏｎｅ; ａ ｃｌｅａｎ ｓｕｒｆａｃｅ ｏｆ ａ ｓｉｎｇｌｅｃｒｙｓｔａｌ;
[Ｍａｔ:Ｐｈｙｓ:Ｉｎｄ:Ｃｈｅｍ].

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11872749