ＦＳＳＳ

front-side scatter sensor

前面散乱センサー. 半導体急速熱処理システムのセンサー.
ｆｒｏｎｔ-ｓｉｄｅ ｓｃａｔｔｅｒ ｓｅｎｓｏｒ; ａ ｄｅｖｉｃｅ ｆｏｒ ＲＴＰ(ｒａｐｉｄ ｔｈｅｒｍａｌ ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ) ｓｙｓｔｅｍ; ｒｅｆ. ＢＳＳＳ(ｂａｃｋ-ｓｉｄｅ ｓｃａｔｔｅｒ ｓｅｎｓｏｒ);
[Ｃ:Ｏｐｔ:Ｌ:Ｉｎｄ].

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11875381