ＩＢＳ

ion-beam sputtering

イオン ビーム スパッタリング. 薄膜の製造法.
ｉｏｎ-ｂｅａｍ ｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ; ａ ｍｅｔｈｏｄ ｆｏｒ ｔｈｉｎ-ｆｉｌｍ ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ;
[Ｍａｔ:Ｉｎｄ].

丸善 「略語大辞典」 JLogosID : 11877754